電子集成化解決方案
- 分類：案例
- 發布時間：2021-05-17 17:34:51
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凈化方案一：
組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口
這是一個最傳統的凈化空調系統的設計方案。組臺式空氣處理機組里含有各種功能段，如混臺段、初效過濾段、表冷段、二次回風段（或中間段）、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。
方案特點∶
A.建議新風經過集中處理后再與回風混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;
B.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。
凈化方案二：
水冷柜機+增壓風柜+高效送風口
與前種方案比較，這是相對比較簡單的空調方案。它可以大大地縮小機房的面積，水冷柜機可以根據具體的情況布置于較小機房內或凈化車間內，增壓風柜也可以布置于機房內或吊在機房內或在夾層內。
方案特點∶這種方案可以是一次回風也可以是二次回風，具體根據車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為無級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。
凈化方案三∶
分體空調柜機+FFU送風口
這是最簡易的一個空調方案。是直接將分體空調柜機布置于車間內，并用彩鋼圍護起來，在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口（帶初效過濾網）;KLC風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內溫濕度精度要求不高的無塵車間。
方案特點∶
A、無塵車間的潔凈度∶ LCD制屏的簡略流程為∶清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
B、溫濕度要求∶溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5%。
C、新風量大
D、送風量大
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等級 |
等級說明及車間應用 |
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1級 |
這個級別的無車車間主要用于制造集成電路的微電子工業，對集成電路的精確要求為亞微米 |
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10級 |
這個級別的無車車間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業 |
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100級 |
很多人認為，這一級無車車間是最常用因而是最重要的無塵車間，人們常常錯誤的將100級潔凈室稱為無菌室，以說明“無菌”的或“無塵”的環境要求，100級無塵室可用于醫藥工業的無菌制造工藝等，這一潔凈室大量應用于，植如體內物品的制造，外科手術，包括移植手術，集成器的制造，那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療，比如像骨髓移植病人術后的隔離治療。 |
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1000級 |
這個級別的無塵車間主要用于高質量光學產品的生產，還用于測試，裝配飛機陀螺儀，裝配高質微型軸承等 |
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10000級 |
萬級無塵車間用于液壓設備或氣壓設備的裝配，某些情況下也用于食品飲料工業，此外，萬級無塵車間在醫工業中也很常用 |
|
100000級 |
十萬級無塵車間用于很多的工業部門，比如光學產品的制造，用于較小的元器件制造，大型的電子系統，液壓或氣壓系統的制造，食品飲料的生產，醫藥工業也常常使用這一級無塵車間 |
潔凈室（區）空氣潔凈級別表
| 潔凈度級別 |
塵粒最大允許數/立方米>=0.5um塵粒數 |
>=5um塵粒數 |
微生物最大允許數浮游菌/立方米 |
沉降菌/皿 |
|
100級 |
3500 |
0 |
5 |
1 |
|
10000級 |
350000 |
2000 |
100 |
3 |
|
100000級 |
3500000 |
20000 |
500 |
10 |
|
300000級 |
10500000 |
60000 |
1000 |
15 |
光學微電子凈化工程換氣參數
| 換氣次數 |
100000>=15次；10000級>=20次；1000級>=30ci ; |
壓差 |
主車間對相鄰房間>=5pa |
|
平均風速 |
10級、100級0.3-0.5m/s |
溫度 |
冬季>16℃；夏季<26℃；波動+-2℃；濕度45-65%；GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜；電子車間濕度略高以免產生靜電 |
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